商傳媒|葉安庭/綜合外電報導
歐洲為提升在全球半導體產業的競爭力與韌性,積極推動《歐洲晶片法案》(European Chips Act),目標在2030年將歐洲在全球半導體生產的市佔率,從目前的不到10%提升至20%。
這項法案主要圍繞三大支柱展開。首先是「歐洲晶片倡議」(Chips for Europe Initiative),旨在支持半導體領域的研究、創新及試點生產,藉由資助先進的試產線、設計平台、能力中心及量子晶片開發等項目,彌合實驗室研究與產業應用間的落差。其次,法案將建立製造與投資框架;第三大支柱則聚焦供應鏈監控與危機應對。
《歐洲晶片法案》預計在2030年前,動員超過430億歐元(約新台幣1.46兆元)的公共與私人投資,以期在長期釋放更龐大的產業支出。
該法案的推出,是為了解決歐洲對亞洲晶圓代工廠的高度依賴。近年全球危機期間,供應鏈中斷突顯歐洲關鍵產業的脆弱性,這些產業仰賴穩定的半導體供應,才能維持全球競爭力。同時,各國政府紛紛投入大量公共資金發展本土晶片生產,也促使歐洲擔憂若無相對應的政策,可能錯失策略性投資機會。
《歐洲晶片法案》旨在使歐洲成為更具吸引力的半導體製造目的地,同時確保該地區在關鍵技術、先進製造流程及特殊應用領域保持不可或缺的地位。
在實際層面,該法案正在重塑歐洲半導體製造廠(或稱 fabs)的資金籌措與建設模式。新的國家援助框架允許成員國支持大型製造項目,特別是那些所謂的「首創」(first-of-a-kind)晶圓廠,其投資成本往往超過100億歐元。符合條件的項目包括先進邏輯和記憶體晶圓廠、功率、類比和化合物半導體設施,以及先進封裝、測試和組裝廠。
該法案並非僅關注最先進的製程節點,而是優先考慮對歐洲工業基礎具有戰略重要性的技術,包括車用晶片、基於碳化矽和氮化鎵的功率電子產品,以及用於工業、航太和國防應用的半導體。
試產線是《歐洲晶片法案》最顯著的特點之一,在將研究成果轉化為量產方面扮演關鍵角色。這些設施允許在新製造流程於商業應用擴大規模前,進行測試和完善。法案支持的試產線涵蓋廣泛的活動,包括2奈米及以下製程的開發、先進封裝和3D整合、新材料和元件架構,以及小批量製造和原型設計。
這些試產線以開放取用(open-access)設施的模式運作,支持那些無力負擔完整晶圓廠運作的新創公司和中小企業,以及希望驗證新製程的無晶圓廠晶片設計公司、設備和材料供應商。共享晶圓運行和通用製程設計套件(PDK)有助於降低整個半導體生態系的進入門檻。
這些試產線透過「晶片聯合事業」(Chips Joint Undertaking)進行協調,該機構連結研究組織、產業和國家資助機構,創建從早期研究和概念驗證,到試產線展示和良率學習,最終轉移到商業晶圓廠的結構化途徑。決策者認為,這條途徑對於將先進製造技術留在歐洲至關重要。
在此框架下,FAMES 和 NanoIC 試產線被設計為互補的倡議,涵蓋歐洲廣泛的先進半導體需求。 NanoIC 側重於超越2奈米節點的系統單晶片(SoC)技術,其創新是由極限縮放、諸如奈米片和互補式場效電晶體等新電晶體架構,以及高數值孔徑(High-NA)極紫外光(EUV)微影技術所驅動。其目標是確保歐洲在傳統上由少數非歐洲企業主導的領域保持活躍。
相比之下,FAMES 則以10奈米和7奈米節點上的全耗盡絕緣層上覆矽(FD-SOI)技術為中心,結合嵌入式非揮發性記憶體、射頻元件、電源管理和3D整合。它並非追求極限縮放,而是優先考慮複雜、真實系統的性能、能源效率、成本和永續性,這些系統在單一晶片上整合數位、類比和射頻功能。
今年二月,歐洲 NanoIC 試產線舉行開幕儀式,並啟動了泛歐2奈米以下晶片技術的試產線。NanoIC 試產線匯集歐洲領先研究機構CEA-Leti、Fraunhofer、VTT、CSSNT-UPB和Tyndall National Institute的綜合專業知識,並由imec擔任主導力量。這種整合方法有助於開發下一代半導體技術,同時使學術團隊、中小企業和新創公司能夠使用先進的製程設計套件(PDK)在試產線上設計和測試創新產品。該倡議在培訓和發展歐洲未來的半導體 workforce 方面也發揮著關鍵作用。
imec 執行長 Luc Van den hove 表示,自2024年5月宣布 imec 將主辦 NanoIC 試產線以來,他們已全速前進,加速工具採購並啟動全面的招聘計畫。這項努力已在魯汶總部擴建2,000平方公尺的無塵室達到高潮,該無塵室將配備一流的工具,包括艾司摩爾(ASML)的下一代 High NA EUV 掃描儀,預計將於3月中旬送達。
Van den hove 補充說,imec 已開始一項雄心勃勃的旅程,將半導體技術推向2奈米節點以下,透過提供對尖端半導體技術的取用權,NanoIC 試產線將在加強歐洲在 AI 時代的產業結構中,發揮關鍵作用。
Imec 還將很快在魯汶園區開始建設一個全新的 4,000 平方公尺無塵室,並且在未來五年內,NanoIC 試產線將整合一百多個新工具,分佈在 imec 以及 CEA-Leti、Fraunhofer、VTT、CSSNT-UPB 和 Tyndall National Institute 的合作夥伴站點。
這些試產線旨在解決歐洲半導體生態系統中的相同結構性弱點:即卓越研究與產業製造準備就緒之間的差距。NanoIC 為sub‑2 nm節點提供早期取用探路PDK和實驗製程流程,使歐洲設計人員和系統公司能夠在商業晶圓代工廠提供之前,探索架構。 FAMES 試產線更像是一個一站式商店,為所有歐盟利益相關者提供開放取用權。將成立一個專門團隊,為來自所有歐盟或理念相近國家的用戶提供開放取用機制。
歐洲擁有世界一流的研究機構,但一直在努力將突破轉化為領先節點的可製造技術。現在,NanoIC 和 FAMES 試產線旨在確保未來節點的關鍵知識、設計能力和製程專業知識牢牢掌握在歐洲手中。此舉對台灣半導體產業而言,既是潛在的競爭,也是合作的機會,台灣業者或可藉此機會,與歐洲建立更緊密的研發及生產夥伴關係。








