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中鋼集團推出超高真空艙體鋁合金 助力半導體製程迎來新突破

中鋁 6061系鋁合金材料應用於高階半導體超高真空艙體組件 (中鋼鋁業公司提供)

【焦點時報/記者蔡宗憲報導】

去年,中鋼與其集團旗下的中鋼鋁業(以下簡稱:中鋁)開發了一系列烘烤硬化型6000系列鋁合金。採取鋼鋁分進合擊的策略,成功進入北美汽車供應鏈。近期,中鋼與中鋁再次聯手,開發出「超高真空艙體用6061系列鋁合金」。這不僅符合半導體製程真空艙體所需的表面優良、強度高、平坦度好等三大品質指標,也助力中鋼集團的鋁合金材料進入高階半導體設備產業鏈。目前,該產品在國內外都有成功的應用實績,而中鋁也持續向下游業者積極推廣其使用。

中鋼是一家貫徹一貫化作業的鋼廠,為國內各項基礎建設、產業發展以及各種民生產品提供並開發所需的鋼鐵材料。經過多元化和國際化的發展,中鋼已成為一家擁有鋼鐵、工程、工業材料、物流投資、綠能等五個事業板塊的集團。而且,它也已從原本的鋼鐵材料製造商轉變為多元材料的供應商。

台灣的半導體產業在全球處於領先地位。半導體製程多在真空艙體內完成,而真空艙體本身需要使用具有輕量、良好導熱性和易於加工等特性的材料來製作,因此鋁合金是首選材料。然而,國內的真空艙體用鋁板長期依賴美國和日本的鋁廠供應。新冠疫情後,受全球供應鏈重組的影響,中鋼與中鋁共同投入技術和產品研發,近期成功開發出「超高真空艙體用6061系列鋁合金」產品。

一般民生用6061系鋁合金雖具備中高強度及良好銲接性等優勢,但無法滿足半導體先進製程對超高真空艙體之嚴苛品質要求,故國外大型鋁廠採用低液位澆鑄與水平淬火等新式設備來改善鋁板組織均勻性與提升其強度,中鋼與中鋁組成的研究團隊考量相關設備造價昂貴且無法短期內建構完成,決定以現有設備為基礎,發揮巧思共同研發出「析出物尺寸調控」、「分段淬火」及「高速淬火」等關鍵技術,讓中鋁產出的6061系鋁合金不但品質媲美由最新式水平式淬火爐製程生產出的鋁合金,也可避免鋁板加快冷卻速率產生殘留應力而導致之平坦度不佳問題,同時免除購置新式水平淬火設備與土木興建等建置成本。

中鋼攜手中鋁開發的「超高真空艙體用6061系鋁合金」,除了生產技術已取得多項專利外,產品也獲得多家國內半導體設備商認證,目前中鋁積極向下游業者推廣使用。展望未來,中鋼將持續秉持「產業升級,材料先行」的理念,積極與國內下游產業合作,配合國家產業發展進行各項關鍵材料之開發及供應,也將與中鋁持續投入更高強度鋁合金的研發應用,發揮高品級鋁合金更大的價值,實現「中鋼與客戶價值共創」願景。

 

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